Система прецизионной ионной полировки PIPS 691 производства компании «Gatan, Inc« (США).
|
|
Подготовка тонких пленок для исследований методами просвечивающей электронной микроскопии. Одно- и двусторонняя ионная полировка образцов (и поперечного сечения образцов) диаметром 3 мм с модуляцией ионного луча. |
Универсальный вакуумный пост ВУП-5
|
|
Напыление тонких пленок из различных материалов методом термического напыления, подготовка образцов для исследований методами электронной микроскопии. |
Установка «Аргымак»
|
|
Напыление тонких пленок из различных материалов методом магнетронного напыления, подготовка образцов для исследований методами электронной микроскопии. |
16.04.2026
