Растрлық (сканерлеуші) электрондық микроскопия секторы

«OXFORD Instruments Analytical Limited» (Ұлыбритания) компаниясының Inca Energy Penta FET X3 энергодисперсиялық микроанализ жүйесімен жабдықталған «JEOL Ltd.» (Жапония) компаниясы шығарған JSM-6390LV растрлық электронды микроскоп

• Үдеткіш кернеу: 30 кВ дейін
• Рұқсат: 3 нм дейін
• Аспапты ұлғайту: дейін х300 000
• Анықталатын элементтер: B-ден U-ге дейін
• Детектордың энергетикалық рұқсаты: 137 эВ

Сынамалар мен үлгілер бетінің топографиясы мен микроқұрылымын (оның ішінде диэлектриктерді – төмен вакуум режимінде), нүктелі аймақтағы сапалық және сандық элементтік микроанализ, берілген сызық бойымен элементтердің таралу бейіндерін құру, таңдалған учаскеде элементтердің таралу карталарын құру.