Сектор растровой (сканирующей) электронной микроскопии

Растровый электронный микроскоп JSM-6390LV производства компании «JEOL Ltd.» (Япония) с системой энергодисперсионного микроанализа INCA Energy Penta FET X3 компании «OXFORD Instruments Analytical Limited» (Великобритания).

• Ускоряющее напряжение: до 30 кВ
• Разрешение: до 3 нм
• Приборное увеличение: до х300 000
• Определяемые элементы: от B до U
• Энергетическое разрешение детектора: 137 эВ

Изучение топографии и микроструктуры поверхности проб и образцов (в т.ч. диэлектриков – в режиме низкого вакуума), качественный и количественный элементный микроанализ в точечной области, построение профилей распределения элементов вдоль заданной линии, построение карт распределения элементов на выбранном участке.